SOI 图形化与结构加工
依据设计与材料要求，开展图形转移和结构加工，支持硅光器件工程样片试制。
- SOI 图形化
- 器件结构加工
04 / APPLICATIONS
一个平台，
连接多种创新场景。
共用核心工艺，面向不同器件需求。
选择应用方向，了解对应的制造支持。
MEMS & MICROSTRUCTURES感知世界，
感知世界，
从微小结构开始。
面向传感器、微流控芯片及微纳结构，提供微结构加工、功能薄膜与工艺整合，支持工程样片和中试验证。
器件方向
传感器 / 微流控芯片 / 微通道 / 微加热器
工艺支持
薄膜沉积 / 图形化 / 干湿法刻蚀 / 金属化 / 微结构加工
合作方式
关键工艺开发、定制样片、中试流片、小批量制造
SILICON PHOTONICS & OPTOELECTRONICS
连接光与芯，
让设计走向器件。
面向硅光与光电子器件研发，结合 SOI 图形化、薄膜沉积、金属化及钝化工艺，提供工程样片、中试验证与小批量加工支持。
工艺服务
围绕器件结构，衔接关键加工环节
金属化与介质钝化
面向电极、互连与保护层需求，提供金属及介质薄膜沉积、图形化和开窗加工。
- 电极与互连
- 钝化与开窗
微加热器与工艺整合
结合薄膜、电极及钝化工艺，支持微加热器试制、流程衔接与多批次验证。
- 微加热器加工
- 流程整合验证
合作与交付
服务光互连、光学传感及光电子器件研发
- 01需求评估
确认结构、材料与验证目标
- 02样片试制
开发关键工艺，制备工程样片
- 03迭代验证
结合测试结果，优化加工流程
- 04中试交付
按项目要求开展多批次验证
从器件需求开始，评估工艺路径。
可提供器件图纸、材料信息及目标需求；具体加工范围与交付要求经项目评估确认。
MICRO & NANO OPTICS
在微纳尺度，
塑造光的传播。
围绕微纳光学结构与功能膜系，提供从图形化、结构加工到样片制备的工艺支持，服务光学调控、成像与传感器件开发。
光栅与衍射光学
支持周期结构、光栅与衍射光学元件加工，结合设计要求开展工艺路线评估和样片验证。
超表面与微纳光学结构
面向相位、偏振及光场调控需求，提供微纳图形转移、结构刻蚀与材料工艺开发。
光学膜系与结构集成
将光学薄膜与微纳结构加工结合，支持增透、高反及定制多层膜系的器件工艺整合。
合作路径：设计需求评估 / 工艺开发 / 样片制备 / 中试验证
咨询微纳光学项目